一、硅芯氧化

在硅材料的生產(chǎn)過(guò)程中，硅芯在還原爐里是一個(gè)關(guān)鍵部件，然而它很容易受到氧化作用的影響。當(dāng)硅芯表面存在氧化物時(shí)，情況會(huì)變得較為復(fù)雜。還原爐中使用的霧化氣流，在接觸到有氧化物的硅芯表面后，會(huì)形成一個(gè)個(gè)氣泡。這些氣泡并非均勻分布，而是會(huì)在某些區(qū)域聚集，使得硅芯表面原本就可能存在的微小缺陷進(jìn)一步加大。隨著缺陷的不斷累積和擴(kuò)展，硅芯與周?chē)Y(jié)構(gòu)的結(jié)合力逐漸減弱，最終導(dǎo)致硅芯脫落。

為了有效減少硅芯氧化現(xiàn)象，可以采用氮?dú)庾鳛殪F化氣體。氮?dú)馐且环N化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，它能夠在硅芯表面提供惰性氣體氛圍。在這種氛圍下，硅芯表面與氧氣等氧化性物質(zhì)的接觸機(jī)會(huì)大大減少，從而降低了氧化物產(chǎn)生的可能性，保障了硅芯的穩(wěn)定性和完整性。

二、還原爐內(nèi)氣體成分

還原爐內(nèi)氣體成分同樣是影響硅芯穩(wěn)定性的一個(gè)重要因素。還原爐中的霧化氣體成分必須保持穩(wěn)定，并且需要充分混合。只有氣體成分穩(wěn)定且混合均勻，才能保證硅芯表面的氣泡均勻分布，避免因氣泡分布不均而產(chǎn)生的應(yīng)力集中，進(jìn)而防止硅芯脫落。

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